Chroma Model 7935 晶圓檢測系統
2016-03-23
Chroma Model 7935 晶圓檢測系統為切割后自動化晶粒檢測機，使用先進的打光技術，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及取像模式，使得 7935可以適用于LED、雷射二極體及影像感測器等產業。
由于使用高速相機以及自行開發之檢測演算法，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統可以針對特定瑕疵項目在2 分鐘內檢測完2"晶圓，換算為單顆處理時間為15 msec。Chroma Model 7935 晶圓檢測系統同時也提供了自動 對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。Chroma Model 7935 晶圓檢測系統可配置不 同倍率之物鏡，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇適當的檢測倍率。系統搭配的最 小解析度為0.35um，一般來說，可以檢測1um左右的瑕疵尺寸。
系統功能
在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產生不規則的排列，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統也提供了搜尋及排列功 能以轉正晶圓。此外，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統擁有人性化的使用介面可降低學習曲線，所有的必要 資訊，如晶圓分布，瑕疵區域，檢測參數及結果，均可清楚地透過UI呈現。
瑕疵資料分析
所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅只是良品/不良品的結果。這有助于找 出一組最佳參數，達到漏判與誤判的平衡點，瑕疵原始資料亦有幫助于分析瑕疵 產生之趨勢，并回饋給制程人員進行改善。
綜合上述說明，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統是晶圓檢測制程考量成本與效能的最佳選擇。長沙艾克賽普儀器設備有限公司作為臺灣Chroma公司湖南區域的總代理，以下為長沙艾克賽普儀器設備有限公司為您簡單介紹Chroma Model 7935 晶圓檢測系統的技術參數及產品特點，如果您想對Chroma Model 7935 晶圓檢測系統有更多的了解，歡迎致電長沙艾克賽普儀器設備有限公司，聯系電話：0731-84284278 84284378。更多產品信息歡迎點擊：www.gffae.cn。長沙艾克賽普儀器設備有限公司。
Chroma Model 7935 晶圓檢測系統主要特色：
最大可檢測8" 晶圓 (檢測區域達10" 范圍 )
可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
上片后晶圓對位機制
自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格
影像辨識成功率高達 98%
可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備
提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析
適合LED、雷射二極體及影像感測器等產業
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